1、预荷电集尘
　　利用极不均匀电场，或形成电晕放电，产生等离子体，其中包含的大量电子和正负离子在电场梯度的作用下，与空气中的颗粒污染物发生非弹性碰撞，从而附着在上面，使之成为荷电离子，在外加电场力的作用下，被集尘极所收集。
　　其处理过程分三个阶段：1)e+M(污染物分子)——M-；2)M-+SP(固体颗粒)——(SPM)-；3)(SPM)-——SPM(沉积在集尘极上)。静电集尘是一个物理过程，在这个过程中，对悬浮在空气中直径小于100μm的总悬浮颗粒(TSP)和直径小于μm的可吸人颗粒(PM10)有较高的清除效率。
　　2、等离子化学反应
　　通过前沿陡峭、窄脉宽的高频高压脉冲电晕流光放电，在常温常压下获得非热等离子体，利用等离子体中的大量活性粒子对有毒、有害、难降解的污染物进行直接的分解去除。
　　通过两个途径实现：一是在高能电子的瞬时高能量作用下，打开某些有害气体分子的化学键，使其直接分解成单质原子或无害分子；二是在大量高能电子、离子、激发态粒子和氧自由基、氢氧自由基(自由基因带有不成对电子而具有很强的活性)等作用下，氧化分解成无害产物。

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